用(Yong)户(Hu)名(Ming):
密(Mi)码(Ma):
验(Yan)证(Zheng)码(Ma):
ICC讯(Xun) 在(Zai)集(Ji)成(Cheng)电(Dian)路(Lu)制(Zhi)造(Zao)领(Ling)域(Yu)，(?)表(Biao)面(Mian)缺(Que)陷(Xian)的(De)检(Jian)测(Ce)精(Jing)度(Du)和(He)关(Guan)键(Jian)结(Jie)构(Gou)的(De)制(Zhi)造(Zao)精(Jing)度(Du)直(Zhi)接(Jie)关(Guan)系(Xi)到(Dao)产(Chan)品(Pin)的(De)良(Liang)率(Lu)与(Yu)性(Xing)能(Neng)，(?)因(Yin)此(Ci)缺(Que)陷(Xian)检(Jian)测(Ce)(defect inspection)和(He)量(Liang)测(Ce)(metrology)成(Cheng)为(Wei)Fab厂(Chang)质(Zhi)量(Liang)管(Guan)理(Li)的(De)重(Zhong)要(Yao)课(Ke)题(Ti)。(?)在(Zai)半(Ban)导(Dao)体(Ti)前(Qian)道(Dao)制(Zhi)程(Cheng)(FEOL)中(Zhong)，(?)常(Chang)见(Jian)的(De)缺(Que)陷(Xian)检(Jian)测(Ce)技(Ji)术(Shu)包(Bao)括(Kuo)光(Guang)学(Xue)法(Fa)、(?)电(Dian)子(Zi)束(Shu)法(Fa)、(?)X射(She)线(Xian)法(Fa)等(Deng)技(Ji)术(Shu)。(?)光(Guang)学(Xue)法(Fa)成(Cheng)像(Xiang)速(Su)度(Du)快(Kuai)分(Fen)辨(Bian)率(Lu)适(Shi)中(Zhong)，(?)电(Dian)子(Zi)束(Shu)法(Fa)分(Fen)辨(Bian)率(Lu)好(Hao)成(Cheng)像(Xiang)速(Su)度(Du)慢(Man)，(?)X射(She)线(Xian)法(Fa)分(Fen)辨(Bian)率(Lu)一(Yi)般(Ban)速(Su)度(Du)一(Yi)般(Ban)，(?)这(Zhe)也(Ye)造(Zao)成(Cheng)了(Liao)如(Ru)今(Jin)的(De)市(Shi)场(Chang)格(Ge)局(Ju)。(?)
表(Biao)1 FEOL检(Jian)测(Ce)技(Ji)术(Shu)对(Dui)比(Bi) 图(Tu)1 我(Wo)国(Guo)卫(Wei)生(Sheng)医(Yi)疗(Liao)机(Ji)构(Gou)中(Zhong)医(Yi)院(Yuan)诊(Zhen)疗(Liao)量(Liang)和(He)数(Shu)量(Liang)占(Zhan)比(Bi)
集(Ji)成(Cheng)电(Dian)路(Lu)生(Sheng)产(Chan)主(Zhu)要(Yao)采(Cai)用(Yong)第(Di)一(Yi)代(Dai)半(Ban)导(Dao)体(Ti)材(Cai)料(Liao)，(?)如(Ru)硅(Gui)、(?)化(Hua)合(He)物(Wu)半(Ban)导(Dao)体(Ti)则(Ze)主(Zhu)要(Yao)是(Shi)第(Di)二(?)代(Dai)半(Ban)导(Dao)体(Ti)材(Cai)料(Liao)(砷(Shen)化(Hua)镓(Jia)等(Deng))、(?)第(Di)三(San)代(Dai)半(Ban)导(Dao)体(Ti)材(Cai)料(Liao)(碳(Tan)化(Hua)硅(Gui)、(?)氮(Dan)化(Hua)镓(Jia)等(Deng))以(Yi)及(Ji)近(Jin)年(Nian)来(Lai)比(Bi)较(Jiao)火(Huo)热(Re)的(De)第(Di)四(Si)代(Dai)半(Ban)导(Dao)体(Ti)材(Cai)料(Liao)(氧(Yang)化(Hua)镓(Jia)等(Deng))。(?)他(Ta)们(Men)的(De)本(Ben)质(Zhi)区(Qu)别(Bie)是(Shi)禁(Jin)带(Dai)宽(Kuan)度(Du)的(De)大(Da)小(Xiao)，(?)从(Cong)而(?)导(Dao)致(Zhi)电(Dian)学(Xue)、(?)导(Dao)热(Re)、(?)光(Guang)学(Xue)等(Deng)特(Te)性(Xing)天(Tian)壤(Rang)之(Zhi)别(Bie)。(?)最(Zui)近(Jin)几(Ji)年(Nian)新(Xin)能(Neng)源(Yuan)汽(Qi)车(Che)SiC主(Zhu)驱(Qu)、(?)手(Shou)机(Ji)GaN快(Kuai)充(Chong)、(?)SiC光(Guang)波(Bo)导(Dao)MicroLED等(Deng)市(Shi)场(Chang)发(Fa)展(Zhan)火(Huo)热(Re)，(?)直(Zhi)接(Jie)推(Tui)动(Dong)了(Liao)SiC、(?)GaN衬(Chen)底(Di)和(He)外(Wai)延(Yan)片(Pian)的(De)产(Chan)能(Neng)扩(Kuo)张(Zhang)，(?)也(Ye)加(Jia)速(Su)了(Liao)产(Chan)业(Ye)的(De)同(Tong)质(Zhi)化(Hua)内(Nei)卷(Juan)，(?)第(Di)三(San)代(Dai)半(Ban)导(Dao)体(Ti)产(Chan)业(Ye)界(Jie)迫(Po)切(Qie)需(Xu)要(Yao)低(Di)成(Cheng)本(Ben)高(Gao)质(Zhi)量(Liang)的(De)良(Liang)率(Lu)管(Guan)理(Li)方(Fang)案(An)。(?)
表(Biao)2全(Quan)球(Qiu)半(Ban)导(Dao)体(Ti)量(Liang)检(Jian)测(Ce)设(She)备(Bei)份(Fen)额(E)，(?)来(Lai)源(Yuan)：(?)沙(Sha)利(Li)文(Wen)咨(Zi)询(Xun)
在(Zai)第(Di)三(San)代(Dai)半(Ban)导(Dao)体(Ti)材(Cai)料(Liao)检(Jian)测(Ce)领(Ling)域(Yu)，(?)明(Ming)场(Chang)、(?)暗(An)场(Chang)、(?)光(Guang)致(Zhi)发(Fa)光(Guang)(PL)等(Deng)技(Ji)术(Shu)各(Ge)具(Ju)特(Te)色(Se)，(?)它(Ta)们(Men)各(Ge)有(You)所(Suo)长(Chang)，(?)也(Ye)各(Ge)有(You)局(Ju)限(Xian)，(?)适(Shi)用(Yong)于(Yu)不(Bu)同(Tong)的(De)检(Jian)测(Ce)场(Chang)景(Jing)。(?)目(Mu)前(Qian)，(?)KLA-Tencor的(De)Candela、(?)Camtek的(De)Eagle等(Deng)国(Guo)际(Ji)知(Zhi)名(Ming)企(Qi)业(Ye)的(De)产(Chan)品(Pin)在(Zai)行(Xing)业(Ye)内(Nei)占(Zhan)据(Ju)重(Zhong)要(Yao)地(Di)位(Wei)，(?)广(Guang)受(Shou)青(Qing)睐(?)。(?)然(Ran)而(?)，(?)近(Jin)年(Nian)来(Lai)国(Guo)内(Nei)半(Ban)导(Dao)体(Ti)检(Jian)测(Ce)设(She)备(Bei)行(Xing)业(Ye)也(Ye)迎(Ying)来(Lai)了(Liao)蓬(Peng)勃(Bo)发(Fa)展(Zhan)的(De)春(Chun)天(Tian)，(?)涌(Yong)现(Xian)出(Chu)众(Zhong)多(Duo)优(You)秀(Xiu)的(De)本(Ben)土(Tu)企(Qi)业(Ye)，(?)为(Wei)行(Xing)业(Ye)注(Zhu)入(Ru)了(Liao)新(Xin)的(De)活(Huo)力(Li)。(?)
不(Bu)过(Guo)，(?)2025年(Nian)全(Quan)球(Qiu)晶(Jing)圆(Yuan)厂(Chang)新(Xin)增(Zeng)建(Jian)厂(Chang)数(Shu)量(Liang)有(You)所(Suo)减(Jian)少(Shao)，(?)尽(Jin)管(Guan)AI、(?)大(Da)模(Mo)型(Xing)、(?)AR、(?)无(Wu)人(Ren)驾(Jia)驶(Shi)、(?)无(Wu)人(Ren)机(Ji)等(Deng)前(Qian)沿(Yan)科(Ke)技(Ji)概(Gai)念(Nian)仍(Reng)在(Zai)持(Chi)续(Xu)推(Tui)动(Dong)半(Ban)导(Dao)体(Ti)市(Shi)场(Chang)的(De)发(Fa)展(Zhan)，(?)但(Dan)短(Duan)期(Qi)内(Nei)成(Cheng)熟(Shu)制(Zhi)程(Cheng)产(Chan)能(Neng)过(Guo)剩(Sheng)的(De)局(Ju)面(Mian)依(Yi)然(Ran)存(Cun)在(Zai)。(?)这(Zhe)使(Shi)得(De)国(Guo)内(Nei)半(Ban)导(Dao)体(Ti)检(Jian)测(Ce)设(She)备(Bei)行(Xing)业(Ye)面(Mian)临(Lin)着(Zhuo)愈(Yu)发(Fa)激(Ji)烈(Lie)的(De)同(Tong)质(Zhi)化(Hua)竞(Jing)争(Zheng)，(?)甚(Shen)至(Zhi)出(Chu)现(Xian)了(Liao)价(Jia)格(Ge)战(Zhan)，(?)竞(Jing)争(Zheng)程(Cheng)度(Du)愈(Yu)发(Fa)白(Bai)热(Re)化(Hua)。(?)
从(Cong)制(Zhi)造(Zao)企(Qi)业(Ye)的(De)角(Jiao)度(Du)来(Lai)看(Kan)，(?)同(Tong)质(Zhi)化(Hua)竞(Jing)争(Zheng)在(Zai)一(Yi)定(Ding)程(Cheng)度(Du)上(Shang)有(You)利(Li)于(Yu)降(Jiang)低(Di)采(Cai)购(Gou)设(She)备(Bei)的(De)单(Dan)价(Jia)，(?)从(Cong)而(?)降(Jiang)低(Di)生(Sheng)产(Chan)成(Cheng)本(Ben)。(?)然(Ran)而(?)，(?)从(Cong)检(Jian)测(Ce)设(She)备(Bei)企(Qi)业(Ye)的(De)角(Jiao)度(Du)来(Lai)看(Kan)，(?)这(Zhe)种(Zhong)低(Di)价(Jia)竞(Jing)争(Zheng)模(Mo)式(Shi)犹(You)如(Ru)饮(Yin)鸩(Zhen)止(Zhi)渴(Ke)，(?)最(Zui)终(Zhong)会(Hui)严(Yan)重(Zhong)影(Ying)响(Xiang)企(Qi)业(Ye)自(Zi)身(Shen)的(De)运(Yun)营(Ying)和(He)发(Fa)展(Zhan)，(?)而(?)这(Zhe)些(Xie)成(Cheng)本(Ben)压(Ya)力(Li)最(Zui)终(Zhong)还(Huan)是(Shi)会(Hui)转(Zhuan)嫁(Jia)到(Dao)用(Yong)户(Hu)身(Shen)上(Shang)，(?)形(Xing)成(Cheng)恶(E)性(Xing)循(Xun)环(Huan)。(?)
我(Wo)们(Men)不(Bu)禁(Jin)思(Si)考(Kao)：(?)是(Shi)否(Fou)有(You)一(Yi)种(Zhong)新(Xin)技(Ji)术(Shu)，(?)能(Neng)够(Gou)打(Da)破(Po)传(Chuan)统(Tong)技(Ji)术(Shu)的(De)局(Ju)限(Xian)，(?)为(Wei)设(She)备(Bei)用(Yong)户(Hu)和(He)制(Zhi)造(Zao)商(Shang)带(Dai)来(Lai)双(Shuang)赢(Ying)的(De)局(Ju)面(Mian)?这(Zhe)种(Zhong)技(Ji)术(Shu)需(Xu)要(Yao)在(Zai)高(Gao)分(Fen)辨(Bian)率(Lu)、(?)高(Gao)速(Su)度(Du)的(De)前(Qian)提(Ti)下(Xia)，(?)实(Shi)现(Xian)低(Di)成(Cheng)本(Ben)的(De)缺(Que)陷(Xian)检(Jian)测(Ce)，(?)从(Cong)而(?)推(Tui)动(Dong)整(Zheng)个(Ge)行(Xing)业(Ye)的(De)可(Ke)持(Chi)续(Xu)发(Fa)展(Zhan)。(?)
答(Da)案(An)已(Yi)然(Ran)揭(Jie)晓(Xiao)。(?)滨(Bin)松(Song)最(Zui)新(Xin)推(Tui)出(Chu)的(De)定(Ding)量(Liang)相(Xiang)位(Wei)成(Cheng)像(Xiang)光(Guang)学(Xue)模(Mo)组(Zu)C16999系(Xi)列(Lie)，(?)凭(Ping)借(Jie)其(Qi)创(Chuang)新(Xin)的(De)干(Gan)涉(She)显(Xian)微(Wei)技(Ji)术(Shu)和(He)模(Mo)块(Kuai)化(Hua)设(She)计(Ji)，(?)为(Wei)高(Gao)精(Jing)度(Du)、(?)高(Gao)效(Xiao)率(Lu)在(Zai)线(Xian)检(Jian)测(Ce)提(Ti)供(Gong)了(Liao)革(Ge)命(Ming)性(Xing)的(De)低(Di)成(Cheng)本(Ben)解(Jie)决(Jue)方(Fang)案(An)。(?)
什(Shi)么(Me)是(Shi)定(Ding)量(Liang)相(Xiang)位(Wei)成(Cheng)像(Xiang)技(Ji)术(Shu)?
光(Guang)是(Shi)一(Yi)种(Zhong)电(Dian)磁(Ci)波(Bo)，(?)根(Gen)据(Ju)麦(Mai)克(Ke)斯(Si)韦(Wei)电(Dian)磁(Ci)理(Li)论(Lun)，(?)它(Ta)携(Xie)带(Dai)两(Liang)种(Zhong)重(Zhong)要(Yao)信(Xin)息(Xi)：(?)振(Zhen)幅(Fu)(amplitude)和(He)相(Xiang)位(Wei)(phase)。(?)振(Zhen)幅(Fu)代(Dai)表(Biao)光(Guang)的(De)强(Qiang)度(Du)(intensity)，(?)是(Shi)我(Wo)们(Men)日(Ri)常(Chang)生(Sheng)活(Huo)中(Zhong)能(Neng)看(Kan)到(Dao)的(De)光(Guang)的(De)明(Ming)暗(An)程(Cheng)度(Du);而(?)相(Xiang)位(Wei)则(Ze)描(Miao)述(Shu)光(Guang)波(Bo)的(De)振(Zhen)动(Dong)状(Zhuang)态(Tai)和(He)位(Wei)置(Zhi)，(?)它(Ta)能(Neng)反(Fan)映(Ying)物(Wu)体(Ti)的(De)厚(Hou)度(Du)和(He)折(Zhe)射(She)率(Lu)变(Bian)化(Hua)。(?)不(Bu)过(Guo)，(?)人(Ren)眼(Yan)是(Shi)无(Wu)法(Fa)直(Zhi)接(Jie)感(Gan)知(Zhi)相(Xiang)位(Wei)信(Xin)息(Xi)的(De)，(?)只(Zhi)能(Neng)感(Gan)受(Shou)到(Dao)光(Guang)的(De)强(Qiang)弱(Ruo)和(He)均(Jun)匀(Yun)性(Xing)。(?)基(Ji)于(Yu)人(Ren)眼(Yan)的(De)这(Zhe)种(Zhong)感(Gan)知(Zhi)方(Fang)式(Shi)，(?)人(Ren)们(Men)发(Fa)明(Ming)了(Liao)光(Guang)学(Xue)显(Xian)微(Wei)镜(Jing)和(He)自(Zi)动(Dong)光(Guang)学(Xue)检(Jian)测(Ce)设(She)备(Bei)。(?)这(Zhe)些(Xie)设(She)备(Bei)通(Tong)过(Guo)光(Guang)学(Xue)探(Tan)测(Ce)器(Qi)(如(Ru)CCD/CMOS相(Xiang)机(Ji))将(Jiang)光(Guang)学(Xue)信(Xin)号(Hao)转(Zhuan)换(Huan)为(Wei)数(Shu)字(Zi)信(Xin)号(Hao)，(?)再(Zai)利(Li)用(Yong)计(Ji)算(Suan)机(Ji)自(Zi)动(Dong)判(Pan)断(Duan)缺(Que)陷(Xian)，(?)这(Zhe)就(Jiu)是(Shi)振(Zhen)幅(Fu)成(Cheng)像(Xiang)技(Ji)术(Shu)。(?)它(Ta)的(De)优(You)点(Dian)是(Shi)检(Jian)测(Ce)结(Jie)果(Guo)直(Zhi)观(Guan)，(?)与(Yu)人(Ren)眼(Yan)判(Pan)断(Duan)相(Xiang)近(Jin)，(?)但(Dan)缺(Que)点(Dian)是(Shi)只(Zhi)能(Neng)检(Jian)测(Ce)材(Cai)料(Liao)表(Biao)面(Mian)的(De)缺(Que)陷(Xian)，(?)对(Dui)于(Yu)较(Jiao)厚(Hou)或(Huo)透(Tou)明(Ming)材(Cai)料(Liao)的(De)内(Nei)部(Bu)缺(Que)陷(Xian)则(Ze)无(Wu)能(Neng)为(Wei)力(Li)。(?)
以(Yi)活(Huo)细(Xi)胞(Bao)为(Wei)例(Li)，(?)未(Wei)经(Jing)处(Chu)理(Li)的(De)活(Huo)细(Xi)胞(Bao)内(Nei)部(Bu)结(Jie)构(Gou)不(Bu)会(Hui)吸(Xi)收(Shou)照(Zhao)明(Ming)光(Guang)，(?)因(Yin)此(Ci)无(Wu)法(Fa)形(Xing)成(Cheng)足(Zu)够(Gou)的(De)图(Tu)像(Xiang)对(Dui)比(Bi)度(Du)，(?)普(Pu)通(Tong)光(Guang)学(Xue)显(Xian)微(Wei)镜(Jing)很(Hen)难(Nan)直(Zhi)接(Jie)观(Guan)察(Cha)和(He)成(Cheng)像(Xiang)。(?)为(Wei)了(Liao)提(Ti)高(Gao)对(Dui)比(Bi)度(Du)，(?)通(Tong)常(Chang)需(Xu)要(Yao)对(Dui)细(Xi)胞(Bao)进(Jin)行(Xing)染(Ran)色(Se)，(?)但(Dan)这(Zhe)可(Ke)能(Neng)会(Hui)改(Gai)变(Bian)细(Xi)胞(Bao)的(De)活(Huo)性(Xing)，(?)无(Wu)法(Fa)反(Fan)映(Ying)细(Xi)胞(Bao)的(De)真(Zhen)实(Shi)状(Zhuang)态(Tai)。(?)
为(Wei)了(Liao)解(Jie)决(Jue)这(Zhe)一(Yi)问(Wen)题(Ti)，(?)定(Ding)量(Liang)相(Xiang)位(Wei)成(Cheng)像(Xiang)技(Ji)术(Shu)应(Ying)运(Yun)而(?)生(Sheng)。(?)这(Zhe)种(Zhong)技(Ji)术(Shu)可(Ke)以(Yi)直(Zhi)接(Jie)观(Guan)察(Cha)透(Tou)明(Ming)或(Huo)半(Ban)透(Tou)明(Ming)物(Wu)体(Ti)(如(Ru)生(Sheng)物(Wu)活(Huo)细(Xi)胞(Bao)、(?)SiC材(Cai)料(Liao)等(Deng))的(De)三(San)维(Wei)形(Xing)貌(Mao)，(?)并(Bing)测(Ce)量(Liang)其(Qi)折(Zhe)射(She)率(Lu)分(Fen)布(Bu)。(?)通(Tong)过(Guo)这(Zhe)些(Xie)信(Xin)息(Xi)，(?)我(Wo)们(Men)能(Neng)够(Gou)清(Qing)晰(Xi)地(Di)看(Kan)到(Dao)透(Tou)明(Ming)物(Wu)体(Ti)内(Nei)部(Bu)的(De)结(Jie)构(Gou)和(He)状(Zhuang)态(Tai)，(?)而(?)无(Wu)需(Xu)对(Dui)样(Yang)品(Pin)进(Jin)行(Xing)染(Ran)色(Se)或(Huo)其(Qi)他(Ta)破(Po)坏(Huai)性(Xing)处(Chu)理(Li)。(?)因(Yin)此(Ci)，(?)定(Ding)量(Liang)相(Xiang)位(Wei)成(Cheng)像(Xiang)技(Ji)术(Shu)是(Shi)一(Yi)种(Zhong)能(Neng)够(Gou)深(Shen)入(Ru)观(Guan)察(Cha)透(Tou)明(Ming)物(Wu)体(Ti)内(Nei)部(Bu)结(Jie)构(Gou)的(De)先(Xian)进(Jin)成(Cheng)像(Xiang)技(Ji)术(Shu)，(?)弥(Mi)补(Bu)了(Liao)传(Chuan)统(Tong)振(Zhen)幅(Fu)成(Cheng)像(Xiang)技(Ji)术(Shu)的(De)不(Bu)足(Zu)。(?)
表(Biao)3 相(Xiang)位(Wei)成(Cheng)像(Xiang)技(Ji)术(Shu)和(He)振(Zhen)幅(Fu)成(Cheng)像(Xiang)技(Ji)术(Shu)(这(Zhe)里(Li)指(Zhi)纯(Chun)振(Zhen)幅(Fu)，(?)不(Bu)含(Han)偏(Pian)振(Zhen)技(Ji)术(Shu))
C16999核(He)心(Xin)优(You)势(Shi)：(?)纳(Na)米(Mi)级(Ji)分(Fen)辨(Bian)率(Lu)，(?)实(Shi)时(Shi)在(Zai)线(Xian)检(Jian)测(Ce)
C16999系(Xi)列(Lie)QPM光(Guang)学(Xue)模(Mo)块(Kuai)基(Ji)于(Yu)高(Gao)速(Su)干(Gan)涉(She)显(Xian)微(Wei)技(Ji)术(Shu)，(?)垂(Chui)直(Zhi)分(Fen)辨(Bian)率(Lu)可(Ke)达(Da)0.5纳(Na)米(Mi)及(Ji)以(Yi)下(Xia)，(?)能(Neng)够(Gou)精(Jing)准(Zhun)捕(Bu)捉(Zhuo)半(Ban)导(Dao)体(Ti)晶(Jing)圆(Yuan)、(?)化(Hua)合(He)物(Wu)半(Ban)导(Dao)体(Ti)材(Cai)料(Liao)表(Biao)面(Mian)和(He)亚(Ya)表(Biao)面(Mian)缺(Que)陷(Xian)。(?)无(Wu)论(Lun)是(Shi)TEG晶(Jing)圆(Yuan)边(Bian)缘(Yuan)的(De)微(Wei)观(Guan)形(Xing)变(Bian)，(?)还(Huan)是(Shi)表(Biao)面(Mian)颗(Ke)粒(Li)污(Wu)染(Ran)物(Wu)，(?)QPM模(Mo)块(Kuai)均(Jun)能(Neng)够(Gou)生(Sheng)成(Cheng)高(Gao)对(Dui)比(Bi)度(Du)定(Ding)量(Liang)相(Xiang)位(Wei)成(Cheng)像(Xiang)图(Tu)，(?)并(Bing)结(Jie)合(He)实(Shi)时(Shi)图(Tu)像(Xiang)处(Chu)理(Li)算(Suan)法(Fa)，(?)快(Kuai)速(Su)输(Shu)出(Chu)缺(Que)陷(Xian)的(De)位(Wei)置(Zhi)分(Fen)布(Bu)信(Xin)息(Xi)。(?)
图(Tu)1 QPM模(Mo)块(Kuai)C16999
技(Ji)术(Shu)亮(Liang)点(Dian)一(Yi)：(?)轻(Qing)量(Liang)化(Hua)设(She)计(Ji)，(?)使(Shi)用(Yong)简(Jian)单(Dan)，(?)低(Di)成(Cheng)本(Ben)
C16999采(Cai)用(Yong)紧(Jin)凑(?)化(Hua)结(Jie)构(Gou)设(She)计(Ji)，(?)重(Zhong)量(Liang)仅(Jin)约(Yue)1500克(Ke)，(?)模(Mo)块(Kuai)附(Fu)带(Dai)缺(Que)陷(Xian)分(Fen)析(Xi)软(Ruan)件(Jian)，(?)只(Zhi)需(Xu)搭(Da)配(Pei)合(He)适(Shi)的(De)tube lens和(He)相(Xiang)机(Ji)即(Ji)可(Ke)实(Shi)现(Xian)缺(Que)陷(Xian)检(Jian)测(Ce)。(?)这(Zhe)样(Yang)一(Yi)来(Lai)，(?)C16999既(Ji)可(Ke)以(Yi)支(Zhi)持(Chi)化(Hua)合(He)物(Wu)半(Ban)导(Dao)体(Ti)制(Zhi)造(Zao)企(Qi)业(Ye)，(?)将(Jiang)C16999嵌(Qian)入(Ru)式(Shi)集(Ji)成(Cheng)于(Yu)自(Zi)动(Dong)化(Hua)产(Chan)线(Xian)中(Zhong)，(?)也(Ye)可(Ke)以(Yi)支(Zhi)持(Chi)检(Jian)测(Ce)设(She)备(Bei)企(Qi)业(Ye)将(Jiang)C16999结(Jie)合(He)载(Zai)物(Wu)台(Tai)实(Shi)现(Xian)设(She)备(Bei)开(Kai)发(Fa)。(?)
技(Ji)术(Shu)亮(Liang)点(Dian)二(?)：(?)0.5 nm 纵(Zong)向(Xiang)分(Fen)辨(Bian)率(Lu)，(?)亚(Ya)微(Wei)米(Mi)水(Shui)平(Ping)分(Fen)辨(Bian)率(Lu)实(Shi)现(Xian) 3D 缺(Que)陷(Xian)分(Fen)析(Xi)
C16999的(De)纵(Zong)向(Xiang)分(Fen)辨(Bian)率(Lu)达(Da)到(Dao)0.5 nm甚(Shen)至(Zhi)更(Geng)低(Di)，(?)用(Yong)户(Hu)可(Ke)根(Gen)据(Ju)检(Jian)测(Ce)需(Xu)求(Qiu)选(Xuan)择(Ze)不(Bu)同(Tong)放(Fang)大(Da)倍(Bei)数(Shu)(×(?)1.25至(Zhi)×(?)20)，(?)水(Shui)平(Ping)分(Fen)辨(Bian)率(Lu)覆(Fu)盖(Gai)0.7 μ(?)m至(Zhi)8.1 μ(?)m，(?)视(Shi)场(Chang)范(Fan)围(Wei)最(Zui)大(Da)支(Zhi)持(Chi)11.3×(?)8.28 mm，(?)可(Ke)以(Yi)实(Shi)现(Xian)快(Kuai)速(Su)3D轮(Lun)廓(Kuo)扫(Sao)描(Miao)和(He)缺(Que)陷(Xian)检(Jian)测(Ce)。(?)
图(Tu)2 SiC外(Wai)延(Yan)片(Pian)测(Ce)试(Shi)案(An)例(Li)
图(Tu)3 TEG测(Ce)试(Shi)案(An)例(Li)
目(Mu)前(Qian)，(?)C16999产(Chan)品(Pin)主(Zhu)要(Yao)瞄(Miao)准(Zhun)GaN/SiC外(Wai)延(Yan)片(Pian)、(?)衬(Chen)底(Di);TEG wafer等(Deng)领(Ling)域(Yu)的(De)缺(Que)陷(Xian)检(Jian)测(Ce)，(?)我(Wo)们(Men)预(Yu)计(Ji)可(Ke)以(Yi)将(Jiang)化(Hua)合(He)物(Wu)半(Ban)导(Dao)体(Ti)缺(Que)陷(Xian)检(Jian)测(Ce)的(De)成(Cheng)本(Ben)控(Kong)制(Zhi)在(Zai)百(Bai)万(Wan)元(Yuan)以(Yi)内(Nei)。(?)若(Ruo)您(Nin)对(Dui)C16999系(Xi)列(Lie)感(Gan)兴(Xing)趣(Qu)，(?)或(Huo)希(Xi)望(Wang)参(Can)与(Yu)免(Mian)费(Fei)样(Yang)品(Pin)测(Ce)试(Shi)，(?)请(Qing)关(Guan)注(Zhu)“(?)滨(Bin)松(Song)中(Zhong)国(Guo)”(?)公(Gong)众(Zhong)号(Hao)，(?)聊(Liao)天(Tian)框(Kuang)留(Liu)言(Yan)。(?)